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1.光栅理论中坐标变换方法的数值稳定性机制分析与提升

徐西泓(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2016年

导师:李立峰

关键词:衍射光栅,坐标变换方法,数值稳定性,特征值条件数,S矩阵算法

2.平面位移测量用二维衍射光栅的标定方法

冯灿(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2012年

导师:李立峰

关键词:二维光栅, 位移测量, 误差标定, 干涉法, 衍射波面

3.衍射度量术在光栅形貌测量与小阶梯光栅制作中的应用

魏石铭(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2010年

导师:李立峰

关键词:衍射度量术;全息光栅;小阶梯光栅;光栅形貌测量;光栅制作

4.共振型光栅的制作工艺及其离子束刻蚀终点的在线检测

孟祥峰(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2009年

导师:李立峰

关键词:共振型光栅;离子束刻蚀;质谱;表面等离子体;手性二维光栅

5.共振型光栅的制作及其终点控制

孟祥峰(培养单位: 精仪系,学位:硕士) 2009年

导师:李立峰

关键词:共振型光栅;离子束刻蚀;侧壁陡直度

6.极紫外多层膜光栅的浮雕衬底制作及衍射效率测量与分析

林慧(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2008年

导师:李立峰

关键词:多层膜光栅;闪耀光栅;离子束刻蚀;衍射效率;极紫外

7.平场全息凹面光栅的优化设计与制作工艺

周倩(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2008年

导师:李立峰

关键词:平场全息凹面光栅;消像差设计;光栅制作;凸面光栅;衍射效率

8.介质膜光栅:光刻胶掩模占宽比和离子束刻蚀槽深的监控

林华(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2005年

导师:李立峰

关键词:光栅;实时监控技术;占宽比;槽深;离子束刻蚀

9.群论在二维光栅理论及其傅立叶模态法中的应用

白本锋(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2005年

导师:李立峰

关键词:衍射光栅;二维光栅;群论;对称性;傅立叶模态法

10.全息光栅制作工艺关键步骤的实时监测技术

赵劲松(培养单位: 精仪系,学位:博士) 2003年

导师:李立峰

关键词:光栅;全息光栅;实时曝光监测;实时显影监测;显影模型

11.全介质反射型光栅借以获得高衍射效率的物理机制的研究

魏洪波(培养单位: 精仪系,学位:硕士) 2003年

导师:李立峰

关键词:光栅;衍射光栅;光栅理论;光学薄膜

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